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研究開発報告書類（JAEA-Research等）学会誌等掲載論文口頭発表特許

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論文

Study of modification processes in sputtering during oxygen exposure

西堂雅博; 山田礼司

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 39, p.599 - 602, 1989/00

https://doi.org/10.1016/0168-583X(89)90856-2

被引用回数：2 パーセンタイル：45.21(Instruments & Instrumentation)

酸素雰囲気においてMoおよびTiCをイオン照射した際誘起される表面改質過程を、オージェ電子分光法および、二次イオン質量分析法により調べた。アルゴンイオンおよび重水素イオンを用いて、照射イオン種の効果も合わせて調べた。